流化床化学气相沉积（FB CVD）

技术优势明显：

传热传质效率高：流化床反应器的传热和传质系数比传统的固定床反应器和移动床反应器高 1 个数量级以上，反应更充分。

温度控制均匀：反应区温度均匀，对于强热效反应的热扩散和热补充有明显优势，在控温反应的温度精度一致性上也有不可替代的优势。

单位产能大：能效和接触充分，单位床层的生产能力远远大于传统的固定床反应器和移动床反应器。

易于物料处理：反应区质点均处于流动态，易于物料的加注和卸出，可提升能耗利用效率和生产效率。

自动化程度高：设备采用自动化控制，更加接近于商业化设备，性能稳定性明显提高。

能源领域应用潜力大：在能源存储与转换方面，FB CVD 可用于制备三维石墨烯网络等材料。如通过该工艺制备的三维石墨烯网络作为锂硫电池的电极，表现出良好的倍率性能和循环稳定性，为大规模应用三维石墨烯材料开辟了新途径，随着新能源产业的发展，其需求有望增加。

纳米材料制备优势突出：FB CVD 能够实现碳基精细粉末的均匀包覆，可用于制备各种复合材料，在电催化和钠离子电池阳极等领域有潜在应用。例如，通过该方法可合成锡硫族化合物与硬碳粉末的复合材料，这类材料在电子学领域，如光电子学、热电学等方面具有较高的应用潜力。

半导体制造需求增长：在半导体制造的先进封装环节，FB CVD（可流动 CVD）因能填充纳米级间隙，成为关键工艺。随着半导体行业的发展，特别是先进制程技术向 3nm 及以下节点突破，以及存储芯片市场需求的复苏，对 FB CVD 设备的需求也将持续增长。

环保领域应用前景广阔：相关研究表明，利用类似 FB CVD 的单阶段浮动催化剂 CVD 法制备的垂直排列碳纳米管具有超疏水性能和对重金属离子的吸附能力，在油水分离和水净化等环保领域具有应用潜力，有助于解决环境污染问题，符合未来环保产业的发展需求。

设备工艺已经成熟：儒佳科技在新材料领域进行探索，十年磨一剑的不断创新，逐渐形成以物理研磨和化学沉积方法的工艺设备的专业性新材料设备厂家。